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飛秒激光微納加工的動(dòng)力學(xué)原理

點(diǎn)擊量：1524 日期：2021-11-26 編輯：硅時(shí)代

　　由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒(méi)有殘?jiān)w濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒(méi)有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達(dá)到0.7um）等優(yōu)勢(shì)，飛秒激光在精細(xì)加工及微納加工技術(shù)的隱形切割方面都取得了很大的進(jìn)展。

　　根據(jù)不同的特性，飛秒激光作用的領(lǐng)域也不盡相同：
1、其熱影響區(qū)域小，加工精度高可用于表面微加工及納米級(jí)深孔加工工藝；
2、根據(jù)其加工精度高，微型化能力強(qiáng)可用于光通信領(lǐng)域中光波導(dǎo)、光柵、光子晶體、微通道等的制備；
3、根據(jù)其“冷”加工，能量消耗低、準(zhǔn)確度高的優(yōu)點(diǎn)，可在生物領(lǐng)域有很強(qiáng)的應(yīng)用前景。

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