微特云辦公系統(tǒng)
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新聞
News
2020-03-14
LIGA與準LIGA技術 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發(fā)了進行三維微細加工最有前途的方法——LIGA技術。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
2020-03-13
MEMS研究的歷史 MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機械及材料科學為基礎，研究、設計、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結構器...
2020-02-21
MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術推動”的綜合結果。 隨著人類社會全面向信息化邁進，信息系統(tǒng)的...
2020-02-21
我國MEMS的研究始于二十世紀八十年代末。經過十多年的發(fā)展，我國在多種微型傳感器、微型執(zhí)行器和若干微系統(tǒng)樣機等方面已有一定的基礎和技術儲備，...
